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刻蚀工艺
刻蚀目的
将硅片边缘的带有的磷去除干净,避免 pn 结短路造成并联电阻降低。
刻蚀原理
采用干法刻蚀。采用高频辉光放电反应, 采用高频辉光放电反应,使反应气体---成活性粒子,如原子或各种游离基,这些活性粒子扩散到硅片边缘,在那里与硅进行反应,形成挥发性生成物四---硅而被去除。
化学公式: cf 4 +sio 2 =sif 4 +co 2
工艺流程
预抽,主抽,送气,辉光,抽空,清洗,预抽,主抽 ,充气。
影响因素
1. 射频功率
射频功率过高:等离子体中离子的能量较高会对硅片边缘造成较大的轰击损伤,导致边缘区域的电性能差从而使电池的性能下降。在结区(耗尽层)造成的损伤会使得结区复合增加。
射频功率太低:会使等离子体不稳定和分布不均匀,从而使某些区域刻蚀过度而某些区域刻蚀不足,导致并联电阻下降。
2. 时间
刻蚀时间过长:刻蚀时间越长对电池片的正反面造成损伤影响越大,时间长到一定程度损伤不可避免会延伸到正面结区,从而导致损伤区域高复合。
刻蚀时间过短:刻蚀不充分,没有把边缘鳞去干净, pn 结依然有可能短路造成并联电阻降低。
4. 压力
压力越大,气体含量越少,参与反应的气体也越多,刻蚀也越充份。
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五、绒面色素斑(水迹印、未制绒、未镀一层薄薄的膜、手指头印、黑斑等)
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变动前:容许有轻度缺点,缺点一部分的占地面积不超出电池片占地面积的10%,数量不超出3个。---目前变动后:把绒面色素斑分为二种种类:泛白色素斑和浅蓝色斑
(1)泛白色素斑
因为存有深蓝色到乳白色的跳色,故---片绒面色素斑中不允许有泛白色素斑,缺点占地面积占电池片占地面积的0—30%,数量不超出5个,合乎此规范的均判为b级。
(2)浅蓝色斑
浅蓝色斑的b级判断规范不会改变新的规范:色素斑一部分的色调和该电池片上别的地域的色调不容许跳色,应是相仿色,即深蓝色和暗蓝色(或深蓝色和浅蓝色)存有于单个充电电池上,总数和总面积均不分。
b级
容许有不---缺点,缺点占地面积不超出电池片占地面积的30%,数量不超出5个。新的规范:容许有轻微色素斑、闪光点、容许跳1个相仿色,单个充电电池上只容许存有3颜色(比如深蓝色—乳白色,深蓝色—鲜红色),色素斑一部分的占地面积不超出电池片占地面积的10%,数量不超出5个。
c级
缺点占地面积不超出电池片占地面积的30%,或是数量不超出5个。注---沒有镀一层薄薄的膜的影片夜称c级退级片。新的规范:色素斑一部分的占地面积超出电池片占地面积的10%,或是总数5个。
国际废旧电池处理方式
国际性废旧电池处理过程国际性上行驶的废旧电池处理过程大概有几种:干固掩埋、储放于废煤矿、综合利用。
1.干固掩埋、储放于废煤矿。
废旧电池通常都运到---有害、危害垃圾处理场,但这种做法不但花销很大并且还导致浪费,由于在其中还有许多能作原材料的有效化学物质。
2.综合利用。
(1)调质处理:法国有俩家生产加工运用旧充电电池的加工厂,巴特列克企业采用的方式 是将旧充电电池碾碎后送到炉内加温,这时候可获取挥传出的---,溫度更高时锌也挥发,它一样是---。铁和锰熔合后变成炼铁需要的锰有色金属。该加工厂1年可生产加工2000吨废旧电池,可得到780吨锰有色金属,400吨锌合金材料及3吨---。别家加工厂则是立即从充电电池中获取含铁,并将氧化锰、氧化锌、氧化铜和氧化镍等金属材料化合物做为金属材料废弃物立即售卖。但是,调质处理的方式 花销较高,法国还要求向每名充电电池消费者扣除小量废旧电池生产加工---型费。
(2)湿解决:马格德堡近郊区已经修建1个湿解决设备,这里除铅酸蓄电池外,各种充电电池均融解于---,随后依靠正离子环氧树脂从水溶液中获取各种各样金属材料,用这类方法得到的原材料比热处理工艺纯粹,因而在销售市场上市场价更高,并且充电电池中包括的各种各样化学物质有95%都能获取出去。湿解决可省掉快递分拣阶段(由于快递分拣是手工制作,会提升成本费)。马格德堡这套设备年生产能力达到7500吨,其成本费尽管比垃圾填埋方式 略高,但珍贵原材料不至于丢掉,也不容易环境污染。(3)真空热处理法:德国阿尔特企业研发的真空热处理法也要---,但是这先必须在废旧电池中快递分拣出镍镉电池,废旧电池在真空泵中加温,在其中---快速挥发,就能将其收购,随后将剩下原材料碾碎,用磁体获取金属材料铁,再从剩下粉末状中获取镍和锰。
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